当在VMware中开启虚拟机时遇到内部错误，可以尝试以下解决方法：

重新启动VMware软件：尝试关闭并重新启动VMware软件，然后再次尝试开启虚拟机。

检查虚拟机配置：确保虚拟机的配置文件没有损坏或错误。可以尝试创建一个新的虚拟机配置文件，并将原有的虚拟机硬盘文件添加到新的配置文件中。

检查虚拟机硬盘文件：可能是虚拟机硬盘文件损坏导致内部错误。可以尝试恢复备份的虚拟机硬盘文件，或者创建一个新的虚拟机硬盘文件并导入原有数据。

更新VMware软件：确保你使用的VMware软件是最新版本，有时候内部错误可能是由软件版本不兼容或有bug引起的。尝试升级到最新版本。

检查系统环境：确保你的计算机系统满足VMware的最低要求，并且没有其他软件或驱动程序与VMware产生冲突。可以尝试关闭其他程序和服务，然后再次尝试开启虚拟机。

如果以上方法都无法解决问题，建议联系VMware官方客服或社区寻求帮助。