要删除Tomcat缓存文件，可以按照以下步骤进行操作：

停止Tomcat服务器，可以使用shutdown.sh脚本或者通过控制台停止Tomcat服务。

找到Tomcat的工作目录，通常位于Tomcat安装目录下的work文件夹中。

在work文件夹中找到对应的应用程序的文件夹，然后删除该文件夹内的所有文件。

重启Tomcat服务器，可以使用startup.sh脚本或者通过控制台启动Tomcat服务。

删除缓存文件后，Tomcat会重新生成新的缓存文件，这样可以确保应用程序可以正常运行。